MEMS 硅片 微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。 微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。 微机电系统是在微电子技术(半导体制
单晶石英石英晶体的基本知识 1、化学物理特性 ① 水晶的成份SiO2,在常压下不同温度时,石英晶体的结构不同,温度T<573 ℃时α石英晶体,当573℃<T<870℃时β石英晶体,熔点是1750℃,我们通常 说的压电石英晶体指α石英晶体。 ② 具有压电特性Diameter2"3"4"5"6"OrientationX-Cut, Y
绝缘片(SOI) 为了提高集成电路的集成度和速度,降低功耗必须缩小器件的尺寸。但当器件的尺寸缩小到亚微米范围以内时,常规的结构就不适应了,从而导致SOI( Silicon On Insulator或Semi- conductor On Insulator)结构的发展,也就是把器件制作在绝缘衬底上生长的硅单晶层上。SOI结构开始是针对亚微米CMOS